氢气发生器在半导体制造工艺中的应用工作原理
上海亿万MR品质是一家生产气体发生器的研发制造公司,产品有氢气发生器,氮气发生器,空气发生器等设备,服务百万客户,对劣质产品说不
氢气发生器工作原理
氢气发生器工作原理
氢气发生器除在开管扩镓和铝镓扩散工艺中应用外， 因它产氢纯度高，用在晶体管制造工艺中的管芯氮氢烘焙，对减小表面态密度和漏电流，提高器件的B值和稳定性、可靠性方面，能收到更好的效果。硅片外延和钝化膜制备等，所用的硅烷(SIC1．)材料，需要用氢气稀释，用氢气发生器产的高纯氢，做为硅烷的稀释剂，有利于保持硅烷的高纯度，能提高外延和钝化膜的质量。氢气发生器产的高纯氢，用在化学气相淀积工艺中，能制备高质量的无机材料。大流量的氢气发生器，用在单晶制备、硅片外延和管芯烧结等土艺中，在提高产品质量等方面，比用氧气钢瓶、液氨分解制氢好得多。
氢气发生器是由电源、电解池、贮水槽、气体脱水器、电磁阀、报警器、干燥器和流量指示表等组成。氢气发生器的核心部分是电解池，采用固体聚合物电解质(Solid PolymerElectrolyte)即“SPE ”新技术。SPE是一种约0．3ram厚、具有离子导电能力的全氟磺酸膜。装入电解池后只电解去离子水，不需另外再加酸性或碱性电解液， 既无腐蚀现象，气流又不受污染。通电后，电解池工作，阴极产氢，阳极产氧，氧气排入大气，氢气由贮氢室进入高效干燥器， 出口氢气纯度优于99．999％ 。
氢气发生器在气相色谱仪和半导体工艺中应用广泛，运转性能良好。实验和实践证明，它比使用钢瓶具有许多优点，氢气发生器产的高纯氢，有利于提高产品质量和成品率，保证安全生产。
